滅菌特種氣體由于它的活潑型，殺菌力強、殺菌譜廣，對物品損害輕微等優(yōu)點，已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一，特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體，隨著科學研究、自動化技術、精密檢測（特別是微電子技術）的發(fā)展，特種氣體成為工業(yè)氣體市場規(guī)模增長新動力，廣泛應用于半導體、LED、光纖光纜等新興行業(yè)。特種氣體的重要性：正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大，應用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“血液”。
特種氣體的儲存注意事項：根據(jù)儲存的氣體類型設置標牌，如“嚴禁明火”、“危險”、“禁止入內(nèi)”等等。并配置消防器材、噴淋系統(tǒng)、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設施。特種氣體的儲存注意事項：為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門泄漏等造成安全隱患，存放場地需平坦，操作需謹慎、輕柔；并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅固位置。特種氣體從應用領域來看，主要包括電子氣體、標準氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程，是下游的行業(yè)關鍵性化工基礎材料，被譽為電子產(chǎn)業(yè)的“血液”。
特種氣體在太陽能電池中的應用：晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體的儲存注意事項：儲存場地的道路，應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫前需檢漏，長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次，并做記錄。特種氣體分類：電子氣體是指用于半 導體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體，目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質量與 發(fā)達國家相比，尚有較大差距；
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